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소재에서 시스템까지, 정밀 산업의 미래를 선도하다

다공질 세라믹
aeroFIX
신개념 진공흡착
다공질 세라믹 흡착스테이지
aeroFIX는 독자개발한 ‘특수 소결제’와 타사와 차별되는 ‘완전소성’ 기술을 통해 마이크론 단위의 미세 기공이 균일하게 분포된 다공질 구조를 정밀하게 제어합니다.
다양한 기공 사이즈와 기공율을 바탕으로 고객의 공정 니즈에 맞춰 최적화 설계함으로써, 사용 중 파티클 및 분진 발생이 없는 작업 환경을 보장합니다.
이를 통해 제작한 “aeroFIX”는 표면 변형 없는 균일한 흡착과 비접촉 부상 기술로 고정밀 제조 공정의 효율을 높여줍니다.
나노템코리아 독자의 소재, 소결 기술로 실현한 5-Advantage
부분 흡착 가능
비용 절감
작업 효율 향상
습식 환경 OK

- 각종 워크 사이즈에 1대로 대응
- 워크의 종류, 사이즈에 따른 진공척 교환이 불필요
- 코스트 절감과 작업 효율 향상을 실현
고성능 고정도의 균일흡착
비용절감
작업 효율 향상
기존 금속 홀타입 진공척

aeroFIX 다공질 세라믹 진공척

- 박막필름 등 흡착에 민감한 워크에 최적
- 알루미늄 등 메탈 계열의 기존 홀타입 진공척과
달리 워크의 홀자국 및 처짐, 뒤틀림, 컬 (Curl)을 해결
비접촉 부상 반송을 실현
작업 효율 향상
오염 문제 해결

- 비접촉 부상, 고속 이동을 통한 공정효율 극대화
- 워크의 오염, 스크래치 방지
정전기 제거 효과
영구적 대전 방지 기능
오염 문제 해결

- 정전기 확산성이 뛰어나 정전기 방지 재료로서 최적
- 안정된 제전 성능으로 워크의 전기적 손상 차단
- 소재 고유 표면 저항 (106 ~ 109Ω/Sq)
다양한 형상, 사이즈 대응
Make To Order

- 초소형 패드 부터 8.6GH 초대형 사이즈, 롤타입 형상까지 고객 맞춤형 제작 가능
기존 장치에 올려만 놓아도 OK
간단한
비용절감

- 현재 사용하고 있는 진공척 위에 올려만 놓아도
기능을 발휘 - 별도 체결 불필요
다공질 세라믹 흡착(부상) 스테이지

포켓타입

롤타입

2층구조

웨이퍼척

백색 세라믹 척

대기공 세라믹 척

다공질 그리퍼

경량 웨이퍼 척
활용 분야
초정밀 검사 장비
라미네이팅,
코팅 정밀 공정용 설비
스크라이브,
레이저 정밀 가공 장비
이송 및 비접촉
에어 부상 반송 장비
Roll To Roll
비접촉 부상 이송 유닛
- 초정밀 검사 장비 : OLED, HBM (AOI) / 유리기판 (TTV, TGV) / 이차전지 (두께, 표면)
- 라미네이팅, 코팅, 잉크젯, 등 정밀 공정용 장비 : 디스플레이, 반도체 패키징, 유리기판, 이차전지
- 스크라이브, 다이싱, 그라인딩, 폴리싱 정밀 가공 장비 : 유리기판, 반도체 웨이퍼, 세라믹, 차세대 소재 가공에 사용
- 초정밀 레이저 공정용 장비 : 레이저 리프트 오프 (LLO), 레이저 컷팅, 레이저 초점 정밀 유지
- 실리콘 · 유리기판 관통 전극 (TSV, TGV)
- 비접촉 에어 부상 이송 장비 : 대형 유리기판 / 초박막 필름 / 웨이퍼 등 민감한 워크 고속 정밀 이송 구현
- Roll To Roll 비접촉 부상 장비 : 고기능성 필름 / 이차전지 / 플렉시블 디스플레이 등 연속 공정에 최적
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