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Products

소재에서 시스템까지, 정밀 산업의 미래를 선도하다

다공질 세라믹

aeroFIX

신개념 진공흡착

다공질 세라믹 흡착스테이지

aeroFIX는 독자개발한 ‘특수 소결제’와 타사와 차별되는 ‘완전소성’ 기술을 통해 마이크론 단위의 미세 기공이 균일하게 분포된 다공질 구조를 정밀하게 제어합니다.
다양한 기공 사이즈와 기공율을 바탕으로 고객의 공정 니즈에 맞춰 최적화 설계함으로써, 사용 중 파티클 및 분진 발생이 없는 작업 환경을 보장합니다.
이를 통해 제작한 “aeroFIX”는 표면 변형 없는 균일한 흡착과 비접촉 부상 기술로 고정밀 제조 공정의 효율을 높여줍니다.

나노템코리아 독자의 소재, 소결 기술로 실현한 5-Advantage

부분 흡착 가능

비용 절감

작업 효율 향상

습식 환경 OK

부분흡착

고성능 고정도의 균일흡착

비용절감

작업 효율 향상

기존 금속 홀타입 진공척

aeroFIX 다공질 세라믹 진공척

Aerofix Porous ceramic
비접촉 부상 반송을 실현

작업 효율 향상

오염 문제 해결

표면저항대응
정전기 제거 효과

영구적 대전 방지 기능

오염 문제 해결

정전기대응
다양한 형상, 사이즈 대응

Make To Order

기존 장치에 올려만 놓아도 OK

간단한

비용절감

다공질 세라믹 흡착(부상) 스테이지

다공질 세라믹 포켓타입

포켓타입

다공질 세라믹 롤타입
롤타입
다공질 세라믹 2층구조
2층구조
다공질 세라믹 웨이퍼척
웨이퍼척
다공질 세라믹 백색 세라믹 척
백색 세라믹 척
다공질 세라믹 대기공 세라믹 척
대기공 세라믹 척
다공질 세라믹 다공질 그리퍼
다공질 그리퍼
다공질 세라믹 경량 웨이퍼 척
경량 웨이퍼 척

활용 분야

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초정밀 검사 장비

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라미네이팅,
코팅 정밀 공정용 설비

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스크라이브,
레이저 정밀 가공 장비

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이송 및 비접촉
에어 부상 반송 장비

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Roll To Roll
비접촉 부상 이송 유닛